Prodotti di grafite per la produzione di silicio policristallino
Introduzione ai prodotti di grafite per la produzione di silicio policristallino
Due metodi di produzione del silicio policristallino sono CVD e letto fluido, con CVD come la maggior parte applicata. Entrambi i metodi sono altamente dipendenti dal materiale di grafite e la qualità del materiale di grafite decide il livello di silicio policristallino.
I prodotti di grafite applicati nella produzione di silicio policristallino sono sabot di grafite, calotta di grafite, fondo di grafite, zona calda di grafite, schermo di grafite, fissatore di grafite, reattore di grafite, vaso di grafite, ecc.
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